الملخص

في هذه الدراسة, تم تجهيز اغشية رقيقة من جسيمات Ga2O3 النانوية باستخدام طريقة الترسيب بالليزر النبضي (PLD) على طبقة زجاجية تحت فراغ مختلف (5×10^-5 ,2×10 ^-2 و 1 ملي بار) .تم استخدام ليزر  Nd-YAG ‎ بطول موجي (1064 نانومتر) ومعدل تكرار (5 هيرتز) عند 130 درجة مئوية .تم دراسة تأثير زيادة الفراغ على الخواص البصرية والهيكلية بواسطة الاشعة فوق بنفسجية المرئية (UV-VIS), حيود الاشعة السينية (XRD‎) ,المسح المجهري الالكتروني (SEM‎) ,وخصائص التلألؤ الضوئي (PL‎). اظهرت نتائج XRD‎ ان هيكل الجسيمات النانوية Ga₂O₃‎ متعدد البلورات من النوع احادي الميل في اتجاهات بلورية بارزة تبلغ ‎(001) ‎,‎(201) ‎,‎,(400) ‎,‎(-202) ‎,‎(111) ‎ و‎(-112). ‎ حسب بطاقة JCPDS‎ رقم ‎00-041-1103‎. انخفض حجم البلورات لجميع العينات مع زيادة الفراغ . اظهرت صور ‏(‏SEM‎‏)‏ ان الجسيمات النانوية Ga₂O₃‎‏ ‏كروية ومتجانسة . زادت فجوة نطاق الطاقة مع زيادة الفراغ, وكانت ذروة الامتصاص في منطقة الاشعة فوق البنفسجية. تم الحصول على نتائج مماثلة مع الباحث MA Yan-Mei et al [1]